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| ファイル | 記述 | サイズ | フォーマット | |
|---|---|---|---|---|
| ykogk03604.pdf | Abstract_要旨 | 175 kB | Adobe PDF | 見る/開く |
| D_Tada_Yasuhiko.pdf | Dissertation_全文 | 5.67 MB | Adobe PDF | 見る/開く |
| タイトル: | Morphology and Placement Control of Microdomain Structure in Block Copolymer Thin Film for Fabricating Ultra High Density Pattern |
| その他のタイトル: | 超高密度パターン形成に向けたブロック共重合体薄膜におけるミクロドメインの構造・配列制御 |
| 著者: | Tada, Yasuhiko |
| 著者名の別形: | 多田, 靖彦 |
| キーワード: | Block copolymer Microdomain structure Directed self-assemble thin film |
| 発行日: | 26-Mar-2012 |
| 出版者: | 京都大学 (Kyoto University) |
| 学位授与大学: | 京都大学 |
| 学位の種類: | 新制・課程博士 |
| 取得分野: | 博士(工学) |
| 報告番号: | 甲第16883号 |
| 学位記番号: | 工博第3604号 |
| 学位授与年月日: | 2012-03-26 |
| 請求記号: | 新制||工||1544(附属図書館) |
| 整理番号: | 29558 |
| 研究科・専攻: | 京都大学大学院工学研究科高分子化学専攻 |
| 論文調査委員: | (主査)教授 長谷川 博一, 教授 吉﨑 武尚, 教授 金谷 利治 |
| 学位授与の要件: | 学位規則第4条第1項該当 |
| DOI: | 10.14989/doctor.k16883 |
| URI: | http://hdl.handle.net/2433/157615 |
| 出現コレクション: | 090 博士(工学) |
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