低屈折透明パッドによる研磨微粒子の挙動観察に関する研究

松本 龍之介; 鈴木 恵友; 弘田 廉; カチョーンルンルアン パナート

doi:10.11522/pscjspe.2021A.0_110

2021年度精密工学会秋季大会

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2021A.0_110

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主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2021年度精密工学会秋季大会

開催地: オンライン開催

開催日: 2021/09/21 - 2021/09/27

低屈折透明パッドによる研磨微粒子の挙動観察に関する研究

*松本龍之介, 鈴木恵友, 弘田廉, カチョーンルンルアンパナート

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キーワード: 低屈折率透明パッド, 材料除去メカニズム, 微粒子挙動, パターントラッピングモデル

会議録・要旨集フリー

p. 110-111

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抄録

本研究では，CMPにおける材料除去メカニズムを明らかにするために，研磨微粒子の挙動観察を行った．観察に必要となる低屈折透明パッドは，スラリーと同程度の屈折率を有する透明樹脂を材料にして熱インプリント法により作製した．また，研磨中の研磨微粒子挙動の観察に伴って，研磨微粒子の挙動が研磨中の段差緩和とどのような関係があるか考察を行った．

責任著者(Corresponding author)

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