超音波振動攪拌機構を用いた水熱合成法によるPZT圧電薄膜の成膜

道廣 善彦; 甲 昌男; 神田 岳文; 鈴森 康一

doi:10.11522/pscjspe.2008A.0.923.0

2008年度精密工学会秋季大会

セッションID: L32

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2008A.0.923.0

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主催: 社団法人精密工学会

超音波振動攪拌機構を用いた水熱合成法によるPZT圧電薄膜の成膜

*道廣善彦, 甲昌男, 神田岳文, 鈴森康一

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キーワード: 水熱合成法, 超音波振動, 圧電薄膜, マイクロアクチュエータ, トランスデューサ

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抄録

超音波振動攪拌機構を用いた水熱合成法により,従来のオートクレーブ容器の回転攪拌機構に比べ,比較的大型で高アスペクト比の構造を有するチタン基板に対して一様な圧電薄膜(PZT)を成膜することが可能である. 本研究では, マイクロアクチュエータを作製するために, チタン基板の配置箇所, 反応時間の変更の成膜プロセスの改良を行い, 試作した圧電薄膜の特性の評価を行った.

責任著者(Corresponding author)

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