主催: 一般社団法人日本物理学会
会議名: 2016年度日本物理学会秋季大会
開催日: 2016/09/13 - 2016/09/24
高分解能ERDAは深さ方向にナノメートルの分解能を持つ分析法であるが、検出器内部で発生する暗電流が検出精度を悪くしている。そこで、検出器前方に別の検出器を設置し、水素が入射する際に放出される二次電子を検出、暗電流による信号と区別する手法を導入した。この手法では、水素が検出器に入射する際に二次電子が出づらく、数え落としてしまう問題があった。そこで、検出器表面に電子を放出しやすい物質を蒸着し改善を図った。