高分解能ERDAにおける二次電子の位置敏感検出と検出限界の向上

田村 貴洋; 原山 勲; 関場 大一郎

doi:10.11316/jpsgaiyo.71.2.0_447

抄録

高分解能ERDAは深さ方向にナノメートルの分解能を持つ分析法であるが、検出器内部で発生する暗電流が検出精度を悪くしている。そこで、検出器前方に別の検出器を設置し、水素が入射する際に放出される二次電子を検出、暗電流による信号と区別する手法を導入した。この手法では、水素が検出器に入射する際に二次電子が出づらく、数え落としてしまう問題があった。そこで、検出器表面に電子を放出しやすい物質を蒸着し改善を図った。