Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «ФОРМИРОВАНИЕ СТРУКТУР PZT НА КРЕМНИИ, "Известия Российской академии наук. Серия физическая"»

Авторы:
  • Серегин Д.С.1
  • Базирувиха А.-М.2
  • Котова Н.М.3
  • Воротилов К.А.4
  • Делимова Л. А.5
  • Зайцева Н.В.6
  • Мяконьких А.В.7
  • Руденко К.В.8
  • Лукичев В.Ф.9
стр. 390-394
Платно
1 Московский государственный технический университет радиотехники, электроники и автоматики, 2 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования Московский технологический университет, 3 Московский государственный технический университет радиотехники, электроники и автоматики, 4 Московский государственный технический университет радиотехники, электроники и автоматики, 5 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Физико-технический институт имени А. Ф. Иоффе Российской академии наук, 6 ФБУН «ФНЦ медико-профилактических технологий управления рисками здоровью населения», 7 Физико-технологический институт РАН, Москва, 8 Физико-технологический институт РАН, Москва, 9 Физико-технологический институт Российской АН, Москва, Нахимовский пр-т, 34
Аннотация:
Исследованы свойства тонких пленок PbZr0.52Ti0.48O3 (PZT) на кремниевых подложках с использованием диэлектрических барьерных слоев Al2O3, HfO2 и проводящих слоев LaNiO3 (LNO). В первом случае на поверхности кремниевых пластин барьер наносили методом атомно-слоевого осаждения (ALD) толщиной от 2 до 10 нм. Вторая группа образцов - структуры с предварительно нанесенным методом химического осаждения из растворов слоем LNO. Установлены необходимая для предотвращения диффузии толщина слоя HfO2 (10 нм), при которой в пленках PZT формируется фаза перовскита. Определена температура отжига, необходимая для формирования кристаллической структуры LNO. Показано, что осаждение проводящего слоя LNO непосредственно на кремний позволяет получить пленки PZT с высокими электрофизическими параметрами.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.