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In this article, the megasonic cleaning system for cleaning micro/nano particles from flat panel display (FPD) surfaces was developed. A piezoelectric actuator and a waveguide were designed by finite element method (FEM) analysis. The calculated peak frequency value of the quartz waveguide was 1002 ㎑, which agreed well with the measured value of 1003 ㎑. The average acoustic pressure of the megasonic cleaning system was 43.1 ㎪, which is three times greater than that of the conventional type of 13.9 ㎪. Particle removal efficiency (PRE) tests were performed, and the cleaning efficiency of the developed system was proven to be 99%. The power consumption of the developed system was 64% lower than that of the commercial system. These results show that the developed megasonic cleaning system can be an effective solution in particle removing from FPD substrate with higher energy efficiency and lower chemical and ultra pure water (UPW) consumption.
#Megasonic (메가소닉) #Finite Element Method (FEM) (유한요소해석) #Flat Panel Display (FPD) (평판디스플레이) #Cleaning (세정) #Particle Removal Efficiency (PRE) (파티클 제거 효율)

목차

1. Introduction
2. FPD Megasonic Cleaning System
3. Experiments
4. Conclusions
REFERENCES

참고문헌 (22)

참고문헌 신청
Lee, J. / 2008 / Introduction to Flat Panel Displays / Wiley google schola Geng, H. / 2005 / Semiconductor Manufacturing Handbook / McGraw-Hill google schola Park, I. S. / 2005 / Meeting the Critical Challenges for 65nm and Beyond using a Single Wafer Processing with Novel Megasonics and Drying Technologies / ECS Trans 1(3):172~179 google schola Kanegsberg, B. / 2001 / Critical Cleaning / CRC Press google schola Lee, Y. / 2006 / Acoustic Field Analysis of a T Type Waveguide in Single Wafer Megasonic Cleaning and its Effect on Particle Removal / Proc. of the 8 th Int. Symp. Ultra Clean Processing Semiconductor Surfaces :65~66 google schola

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