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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2015

반도체 생산라인에서 시뮬레이션을 이용한 병목공정 탐지 프레임워크
양가람 산업공학과 2015 학위논문

2014

시뮬레이션을 이용한 웨이퍼 FAB 공정에서의 병목 공정 탐지 프레임워크
양가람 ,  정용호 ,  김대환 외 1명 한국CDE학회 논문집 2014.09 학술저널
반도체 생산 공정에서 시뮬레이션을 이용한 단기 병목 탐지
양가람 ,  정용호 ,  박상철 한국CDE학회 학술발표회 논문집 2014.02 학술대회자료

초록·키워드

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This paper presents a bottleneck detection framework using simulation approach in a wafer FAB (Fabrication). In a semiconductor manufacturing industry, wafer FAB facility contains various equipment and dozens kinds of wafer products. The wafer FAB has many characteristics, such as re-entrant processing flow, batch tools. The performance of a complex manufacturing system (i.e. semiconductor wafer FAB) is mainly decided by a bottleneck. This paper defines the problem of a bottleneck process and propose a simulation based framework for bottleneck detection. The bottleneck is not the viewpoint of a machine, but the viewpoint of a step with the highest WIP in its upstream buffer and severe fluctuation. In this paper, focus on the classification of bottleneck steps and then verify the steps are not in a starvation state in last, regardless of dispatching rules. By the proposed framework of this paper, the performance of a wafer FAB is improved in on-time delivery and the mean of minimum of cycle time.
#Bottleneck detection #Semiconductor #Simulation #Wafer FAB

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 연구 배경 및 필요성
3. 연구 내용
4. 실험 결과
5. 결론
References

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