本研究製備超低介電常數且高機械強度之奈米管薄膜，此薄膜主要成分為氧化鋁矽奈米管，同時添加少量成份之PVA高分子。我們時利用溶液相製程將氧化鋁矽奈米管薄膜均勻塗佈於上有金屬層之玻璃基材上。我們使用掠角X光散射技術來檢測奈米管於薄膜中之方向性，同時針對未除水與完全除水之奈米管進行介電常數的量測。完全除水之奈米管具有1.05的極低介電常數值，符合超低介電材料之標準。此外，本研究製備之奈米管薄膜具備超過25G Pa之楊氏模數；綜合此薄膜之介電性質與機械性質，此低介電薄膜之材料特性優於現多數高頻之低介電材料。