ナノインプリント用金型作製技術

精密工学会誌

Online ISSN : 1882-675X
Print ISSN : 0912-0289
ISSN-L : 0912-0289

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ナノインプリント用金型作製技術

谷口淳

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キーワード: nanoimprint lithography, electron beam lithography, mold, roll mold, resist

ジャーナルフリー

2010 年 76 巻 2 号 p. 152-155

DOI https://doi.org/10.2493/jjspe.76.152

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