1992 年 58 巻 11 号 p. 1873-1879
直動ボールガイドを用いてLMBGシステムとしてXテーブルを構成し, 種々の水平方向ミスアライメントならびに0, 4, 12μmの3種類の予圧を付与してテーブルの案内精度を測定し, これまでにたてた負荷分布式を用い計算した結果と比較検討した.その結果,
(1) 計算結果は実験結果によく合致するが, 実験値はガイドブロック顎部の曲げ変形が生じるため計算値よりさらに精度平均化効果が大きく現れる.
(2) 予圧を増大すると精度平均化効果は増大する.
(3) ミスアライメントに直交する変位成分は, 無視し得るほど小さい.
(4) 玉の負荷圏への出入りに伴い, 微小ではあるが1次から5次までの玉通過振動波形を観測した.