@article{ART002629895},
author={ 최원석 and 김훈영 and 신영관 and 최준하 and 장원석 and 김재구 and 조성학 and 최두선 },
title={AMOLED 제조공정에 사용되는 Fine Metal Mask 용 얇은 Invar 합금의 진동자를 이용한 펨토초 레이저 응용 홀 드릴링},
journal={Design & Manufacturing},
issn={2800-0323},
year={2020},
volume={14},
number={3},
pages={44-49},
doi={10.22847/ksdme.14.3.202009.007},
url={http://dx.doi.org/10.22847/ksdme.14.3.202009.007}

TY - JOUR
AU - 최원석
AU - 김훈영
AU - 신영관
AU - 최준하
AU - 장원석
AU - 김재구
AU - 조성학
AU - 최두선
TI - AMOLED 제조공정에 사용되는 Fine Metal Mask 용 얇은 Invar 합금의 진동자를 이용한 펨토초 레이저 응용 홀 드릴링
T2 - Design & Manufacturing
PY - 2020
VL - 14
IS - 3
PB - 한국금형공학회
SP - 44-49
SN - 2800-0323
AB - One of display trends today is development of high pixel density. To get high PPI, a small size of pixel mustbe developed. RGB pixel is arranged by evaporation process which determines pixel size. Normally, a fine metal mask(FMM; Invar alloy) has been used for evaporation process and it has advantages such as good strength, and low thermalexpansion coefficient at low temperature. A FMM has been manufactured by chemical etching which has limitation tocontrolling the pattern shape and size. One of alternative method for patterning FMM is laser micromachining. Femtosecond laser is normally considered to improve those disadvantages for laser micromachining process due to suchshort pulse duration. In this paper, a femtosecond laser drilling for thickness of 16 FMM is examined. Additionally,we introduce experimental results for controlling taper angle of hole by vibration module adapted in laser system. Weused Ti:Sapphire based femtosecond laser with attenuating optics, co-axial illumination, vision system, 3-axis linear stageand vibration module. By controlling vibration amplitude, entrance and exit diameters are controllable. Using vibratingobjective lens, we can control taper angle when femtosecond laser hole drilling by moving focusing point. The largeramplitude of vibration we control, the smaller taper angle will be carried out.
KW - Femtosecond laser machining, AMOLED display, Invar, Vibration, Processing control
DO - 10.22847/ksdme.14.3.202009.007
UR - http://dx.doi.org/10.22847/ksdme.14.3.202009.007
ER -

최원석 , 김훈영 , 신영관 , 최준하 , 장원석 , 김재구 , 조성학 and 최두선 . 2020, “AMOLED 제조공정에 사용되는 Fine Metal Mask 용 얇은 Invar 합금의 진동자를 이용한 펨토초 레이저 응용 홀 드릴링”, Design & Manufacturing, vol. 14, no. 3, pp. 44-49. Available from: doi:10.22847/ksdme.14.3.202009.007

최원석 김훈영 et al. 신영관 최준하 장원석 김재구 조성학 최두선 “AMOLED 제조공정에 사용되는 Fine Metal Mask 용 얇은 Invar 합금의 진동자를 이용한 펨토초 레이저 응용 홀 드릴링” Design & Manufacturing 14.3 pp. 44-49 (2020): 44.

최원석 , 김훈영 , 신영관 , 최준하 , 장원석 , 김재구 , 조성학 , 최두선 . AMOLED 제조공정에 사용되는 Fine Metal Mask 용 얇은 Invar 합금의 진동자를 이용한 펨토초 레이저 응용 홀 드릴링 Design & Manufacturing [Internet]. 2020; 14( 3), : 44-49. Available from: doi:10.22847/ksdme.14.3.202009.007

최원석 , 김훈영 , 신영관 , 최준하 , 장원석 , 김재구 , 조성학 and 최두선 . “AMOLED 제조공정에 사용되는 Fine Metal Mask 용 얇은 Invar 합금의 진동자를 이용한 펨토초 레이저 응용 홀 드릴링” Design & Manufacturing 14, no.3 (2020): 44-49. doi: 10.22847/ksdme.14.3.202009.007