グロー放電質量分析法により高純度モリブデン中のppb～ppmレベルの微量37元素を迅速定量した.約3時間にわたる繰り返し測定の結果から,王水で洗浄した試料について更に表面汚染を除くために約30分,特に超微量の炭素,酸素,塩素の定量では2時間の予備放電が必要なこと,大部分の元素についての再現性は相対標準偏差で3%以下であることが分かった.又ICP-AESなど他法による分析結果との比較ができたナトリウム,アルミニウム,鉄など10元素については,一方の分析結果が他方の2倍を超えることがなく,ここで使用したVG社推奨の相対感度係数が実用上満足すべきものであることが分かった.なお,チタンはモリブデンの二価イオンの妨害のため定量困難であり,亜鉛,銀についても何らかの妨害が予想された.