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氧化物靶材的制备及研究进展
付钰斌;宁洪龙;邹文昕;吴振宇;张康平;郭晨潇;刘丁荣;侯明玥;姚日晖;彭俊彪;
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10.20038/j.cnki.mra.2022.000303
2022-07-04 18:48:07