题名：光电化学机械抛光装置设计

作者：张高振;朱祥龙;董志刚;康仁科;赵杨;

来源：

出版机构：同方知网（北京）技术有限公司

出版年:

DOI码：10.19287/j.mtmt.1005-2402.2023.02.005

注册时间：2023-02-20 09:38:02

以下是您获得的URL地址： https://link.cnki.net/doi/10.19287/j.mtmt.1005-2402.2023.02.005(境内) https://link.oversea.cnki.net/doi/10.19287/j.mtmt.1005-2402.2023.02.005(境外)