题名：缺陷对极紫外掩模多层结构反射场的扰动研究

作者：李冠楠;刘立拓;周维虎;石俊凯;陈晓梅;

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出版机构：同方知网（北京）技术有限公司

出版年:

DOI码：10.16818/j.issn1001-5868.2020.02.014

注册时间：2020-04-17 09:26:20

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