题名：Ar气流量对磁控溅射AZO导电薄膜红外透光性能的影响

作者：魏齐;沈鸿烈;高凯;

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出版机构：同方知网（北京）技术有限公司

出版年:

DOI码：10.16818/j.issn1001-5868.2019.03.015

注册时间：2019-06-27 16:03:42

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