题名：玻璃基板光学检测仪器气浮工作台特性仿真研究

作者：权露;陶晓杰;张群;张蓝;

来源：

出版机构：同方知网（北京）技术有限公司

出版年:

DOI码：10.16731/j.cnki.1671-3133.2018.11.019

注册时间：2018-12-27 16:02:55

以下是您获得的URL地址： https://link.cnki.net/doi/10.16731/j.cnki.1671-3133.2018.11.019(境内) https://link.oversea.cnki.net/doi/10.16731/j.cnki.1671-3133.2018.11.019(境外)