题名：大功率RF离子源阻抗匹配电路的设计与实现

作者：岳海昆;李冬;刘开锋;李小飞;汪辰热;陈德智;

来源：

出版机构：同方知网（北京）技术有限公司

出版年:

DOI码：10.16568/j.0254-6086.201504010

注册时间：2016-01-23 09:14:11

以下是您获得的URL地址： https://link.cnki.net/doi/10.16568/j.0254-6086.201504010(境内) https://link.oversea.cnki.net/doi/10.16568/j.0254-6086.201504010(境外)