题名：低功率圆柱形阳极层离子源的性能研究

作者：赵杰;唐德礼;程昌明;耿少飞;

来源：

出版机构：同方知网（北京）技术有限公司

出版年:

DOI码：10.16568/j.0254-6086.2009.01.016

注册时间：2016-05-05 00:06:19

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