题名：管式PECVD氮化硅薄膜不同退火环境的工艺研究

作者：郭丽;武纹平;陈丽;

来源：

出版机构：同方知网（北京）技术有限公司

出版年:

DOI码：10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2018.01.038

注册时间：2018-03-09 10:06:28

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