题名：多晶硅化学气相沉积过程气相与表面反应模拟验证

作者：倪昊尹;陈彩霞;

来源：

出版机构：同方知网（北京）技术有限公司

出版年:

DOI码：10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2015.11.027

注册时间：2015-12-26 12:06:38

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