题名：6H-SiC单晶锭边缘的多晶环控制

作者：封先锋;陈治明;蒲红斌;

来源：

出版机构：同方知网（北京）技术有限公司

出版年:

DOI码：10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2010.05.005

注册时间：2016-05-06 19:59:35

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