题名：溅射技术对TiN涂层结构和力学性能的影响

作者：谷佳宾;李建勇;李刘合;金杰;张海鹏;

来源：

出版机构：同方知网（北京）技术有限公司

出版年:

DOI码：10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2023.09.012

注册时间：2023-10-12 16:22:52

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