题名：工作气压对管内壁沉积Si/O-DLC薄膜结构与性能的影响

作者：许浩杰;陈仁德;周广学;叶羽敏;汪爱英;

来源：

出版机构：同方知网（北京）技术有限公司

出版年:

DOI码：10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2023.06.041

注册时间：2023-06-27 09:19:07

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