题名：GaN晶片电化学腐蚀表面摩擦磨损特性

作者：严杰文;阎秋生;潘继生;

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出版机构：同方知网（北京）技术有限公司

出版年:

DOI码：10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2023.06.018

注册时间：2023-06-27 10:14:45

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