题名：Optimal Actuator Placement and Active Vibration Control of Over-Actuated Motion System in the Wafer Stage

作者：Jing Wang;Ming Zhang;Yu Zhu;Xin Li;Leijie Wang;

来源：

出版机构：同方知网（北京）技术有限公司

出版年:

DOI码：10.15918/j.jbit1004-0579.18133

注册时间：2020-04-15 08:34:25

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