题名：薄膜电路制备中磁控溅射工艺对样品性能影响的研究

作者：陈帅;邱颖霞;魏晓旻;郭育华;宋夏;

来源：

出版机构：同方知网（北京）技术有限公司

出版年:

DOI码：10.14176/j.issn.1001-3474.2015.05.015

注册时间：2015-10-16 16:02:46

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