题名：新型碱性清洗液对CMP后残留SiO_2颗粒的去除

作者：杨柳;刘玉岭;檀柏梅;高宝红;刘宜霖;

来源：

出版机构：同方知网（北京）技术有限公司

出版年:

DOI码：10.14106/j.cnki.1001-2028.2018.05.017

注册时间：2018-06-11 08:39:25

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