题名：MEMS氮化钛谐振式压力传感器研究

作者：杨川;郭灿;

来源：

出版机构：同方知网（北京）技术有限公司

出版年:

DOI码：10.13873/j.1000-97872010.01.022

注册时间：2015-02-14 04:18:33

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