题名：离子束倾斜入射抛光对表面粗糙度的影响

作者：廖文林;舒谊;周林;解旭辉;李圣怡

来源：

出版机构：同方知网（北京）技术有限公司

出版年:2012

DOI码：10.13494/j.npe.2012.065

注册时间：2015-03-11 20:21:50

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