题名：基于超声振动下电镀金刚石线切割单晶硅材料的实验研究

作者：张辽远;王硕;邵中青;吕忠秀;

来源：

出版机构：同方知网（北京）技术有限公司

出版年:

DOI码：10.13394/j.cnki.jgszz.2013.05.010

注册时间：2015-02-06 12:15:44

以下是您获得的URL地址： https://link.cnki.net/doi/10.13394/j.cnki.jgszz.2013.05.010(境内) https://link.oversea.cnki.net/doi/10.13394/j.cnki.jgszz.2013.05.010(境外)