题名：微悬臂梁动态特性表征用真空系统的仿真研究

作者：李建昌;李永宽;巴德纯;

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出版机构：同方知网（北京）技术有限公司

出版年:

DOI码：10.13385/j.cnki.vacuum.2012.06.027

注册时间：2015-05-18 19:40:20

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