题名：MEMS微波/毫米波TaN薄膜负载电阻的设计与实现

作者：李倩;汪蔚;杨拥军;杨志;

来源：

出版机构：同方知网（北京）技术有限公司

出版年:

DOI码：10.13250/j.cnki.wndz.2017.05.008

注册时间：2017-04-11 14:15:29

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