题名：低温空气等离子体对石英表面性质的影响

作者：王大鹏;胥萌;晋伟;王波;闫小康;

来源：

出版机构：同方知网（北京）技术有限公司

出版年:

DOI码：10.13225/j.cnki.jccs.2017.0135

注册时间：2017-11-14 16:50:12

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