离子束在材料改性中的应用

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离子束在材料改性中的应用

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洪忠悌. 离子束在材料改性中的应用[J]. 原子核物理评论, 1985, 2(3): 21-26. doi: 10.11804/NuclPhysRev.02.03.021

引用本文:

洪忠悌. 离子束在材料改性中的应用[J]. 原子核物理评论, 1985, 2(3): 21-26. doi: 10.11804/NuclPhysRev.02.03.021

洪忠悌. 离子束在材料改性中的应用[J]. Nuclear Physics Review, 1985, 2(3): 21-26. doi: 10.11804/NuclPhysRev.02.03.021

Citation:

洪忠悌. 离子束在材料改性中的应用[J]. Nuclear Physics Review, 1985, 2(3): 21-26. doi: 10.11804/NuclPhysRev.02.03.021

摘要: 引言离子束固体材料改性是核技术应用的一个重要方面。它是利用小型加速器将所需的离子加速并注入到材料的近表层,从而改变材料表层的物理、化学和机械性质的一种新技术,通常称为离子注入技术。国外在六十年代初,离子注入材料改性的研究是从半导体开始的。

Abstract: 引言离子束固体材料改性是核技术应用的一个重要方面。它是利用小型加速器将所需的离子加速并注入到材料的近表层,从而改变材料表层的物理、化学和机械性质的一种新技术,通常称为离子注入技术。国外在六十年代初,离子注入材料改性的研究是从半导体开始的。