精密工学会学術講演会講演論文集
2016年度精密工学会秋季大会
セッションID: J63
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積層型圧電素子を用いた浮上機構の機械的特性と電気的特性
*田中 健翔満吉 悠太鳥井 昭宏元谷 卓道木 加絵
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キーワード: 浮上, ピエゾ
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抄録

積層型圧電素子を用いた浮上して移動するアクチュエータを研究している。インピーダンスアナライザを用いてアクチュエータのアドミタンス、圧電素子単体の端子間電圧、その電流の位相差等の電気的周波数特性を測定した。また、実際にアクチュエータを浮上させたときの位相差、浮上量等の機械的周波数特性を測定した。以上の2つの特性を比較する。

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© 2016 公益社団法人 精密工学会
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