主催: 公益社団法人精密工学会
大阪大 工学研究科
北海道大 電子科学研究所
理化学研 SPring-8センター
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本研究の目的は形状可変ミラー用いた硬X線集光光学系の開発である。現在X線集光に用いられている光学素子は集光径や焦点距離といったパラメータが固定であるのに対し、形状可変ミラーを用いた光学系ではこれらのパラメータを変更可能となる。本発表では、X線の集光状態をリアルタイムで計測可能なビームモニタを用いて形状可変ミラーの補正を行い、半値幅300nmの集光ビームを得た結果について示す。
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