主催: 公益社団法人精密工学会
愛知工大 工学研究科 電気電子工学専攻
愛知工大 工学部 電気学科
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圧電素子の高周波振動によるスクイーズ膜効果によって浮上するロボットを製作した。ロボットの浮上量は変位センサを用いて測定した。しかし、変位センサを用いないセンサレス浮上量測定が望ましい。ロボットを浮上させたときのロボットと動作基板の間に働く力を検出し、検出結果を用いてロボットの浮上状態や、圧電素子の振動状態の推定を試みる。
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