溶液法IGZOの焼成温度が伝達特性に与える影響

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第64回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 14p-421-1

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2017.1.0_1849

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 64

開催地: パシフィコ横浜

開催日: 2017/03/14 - 2017/03/17

溶液法IGZOの焼成温度が伝達特性に与える影響

*森本貴明, 福田伸子, 大木義路

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キーワード: 14p-421-1, 応用物性, 誘電材料・誘電体, 基礎・測定法, IGZO, 溶液法, XPS

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