Skip to main content
SpringerLink
Log in

Gasflusssputtern von dielektrischen und transparent leitfähigen Oxidschichten

  • Dünneschichten
  • Published:
JOT Journal für Oberflächentechnik Aims and scope

Zusammenfassung

Bei der Herstellung vieler wichtiger Oxidschichten leiden herkömmliche Sputterverfahren unter dem Nachteil niedriger Beschichtungsraten und mangelhafter Prozessstabilität. Das Gasflusssputterverfahren umgeht beide Schwierigkeiten, das Raten- wie das Stabilitätsproblem, durch sein einzigartiges Wirkprinzip. Vor kurzem entwickelte neue Gasflusssputterquellen mit Targetlängen von bis zu einem Meter werden bereits erfolgreich eingesetzt.

This is a preview of subscription content, log in via an institution to check access.

Access this article

Log in via an institution

Price excludes VAT (USA)
Tax calculation will be finalised during checkout.

Instant access to the full article PDF.

Institutional subscriptions

Literatur

  1. Th. Jung, A. Westphal, Surf. Coat. Technol. 59 (1993) 171

    CAS  Google Scholar 

  2. Th. Jung, T. Kälber, V. v.d. Heide, Surf. Coat. Technol. 86-87 (1996) 218.

    CAS  Google Scholar 

  3. T. Kälber, Th. Jung, Surf. Coat. Technol. 98 (1998) 1116.

    Google Scholar 

  4. R.E. Somekh, J. Vac. Sci. Technol. A 2 (3) (1984) 1285.

  5. S. Honda, A. Tsujimoto, M. Watamori, K. Oura, J. Vac. Sci. Technol. A 13 (3) (1995) 1100.

    CAS  Google Scholar 

  6. H. Aharoni T.J. Coutts T. Gessert R. Dhere L. Schilling, J. Vac. Sci. Technol. A 4 (1986) 428.

    CAS  Google Scholar 

  7. R. Latz, K. Michael, M. Scherer, Jap. J. Appl. Phys. 30 (2A) (1991) L149.

  8. R.B. Schlender, Fortune International 3 (1991) 69.

  9. L. Meng, M.P. dos Santos, Thin Solid Films 322 (1998) 56.

  10. S. Ishibashi, Y. Higuchi, Y. Ota, K. Nakamura, J. Vac. Sci. Technol. A 8 (3) (1990) 1403.

    Google Scholar 

Download references

Author information

Authors and Affiliations

  1. Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik (IST), Arbeitsgruppe Hohlkathodenverfahren, Braunschweig, Deutschland

    Markus Höfer, Antje Jung, Dr. Thomas Jung, Hans-Ulrich Kricheldorf & Frank Schmidt

Authors
  1. Markus Höfer
    View author publications

    You can also search for this author in PubMed Google Scholar

  2. Antje Jung
    View author publications

    You can also search for this author in PubMed Google Scholar

  3. Dr. Thomas Jung
    View author publications

    You can also search for this author in PubMed Google Scholar

  4. Hans-Ulrich Kricheldorf
    View author publications

    You can also search for this author in PubMed Google Scholar

  5. Frank Schmidt
    View author publications

    You can also search for this author in PubMed Google Scholar

Corresponding author

Correspondence to Markus Höfer.

Rights and permissions

Reprints and permissions

About this article

Cite this article

Höfer, M., Jung, A., Jung, D.T. et al. Gasflusssputtern von dielektrischen und transparent leitfähigen Oxidschichten. J Oberfl Techn 40, XII–XVI (2000). https://doi.org/10.1007/BF03240761

Download citation

  • Issue Date:

  • DOI: https://doi.org/10.1007/BF03240761

Search

Navigation