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- Einzige und unersetzbare Quelle ?er die Eigenschaften und den Einsatz von Niederdruckplasmen
- Niederdruckplasmen sind relevante Instrumente f? Herstellungsverfahren in der Photonik und Elektronik
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About this book
In diesem Buch werden zunächst die verschiedenen Typen von Plasmen ausführlich beschrieben: Gleichstrom-Entladung, kapazitive und induktive Kopplung mit Radiofrequenz, die magnetfeldunterstützte Anregung mittels Heliconwellen; schliesslich noch Ionenstrahlen. Breiten Raum nimmt dann die Plasmadiagnostik ein, die in einem separaten Kapitel mit vier Methoden exemplarisch vorgestellt wird. Daran anschliessend erfolgt eine umfassende Darstellung der beiden modernen Verfahren Sputtern und Trockenätzen, mit denen heute Oberflächen durch Beschichten und gezieltes Abtragen auf vielfältige Weise modifiziert werden. Besondere Aufmerksamkeit wird reaktiven Verfahren und den dort auftretenden Reaktionsmechanismen, aber auch der Ionenstrahlmethode, gewidmet. Zahlreiche Anwendungsbeispiele sind in den Text eingestreut. Für die Neuauflage wurde das Buch vollständig neu bearbeitet und aktualisiert. Hinzu kamen neue Kapitel über Plasmadiagnostik und hochdichte sowie induktiv-gekoppelte Plasmen.
Authors and Affiliations
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Fachbereich 06, Fachhochschule München, München, Germany
Gerhard Franz
Bibliographic Information
Book Title: Niederdruckplasmen und Mikrostrukturtechnik
Authors: Gerhard Franz
DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-642-18769-8
Publisher: Springer Berlin, Heidelberg
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eBook Packages: Springer Book Archive
Copyright Information: Springer-Verlag Berlin Heidelberg 2004
Hardcover ISBN: 978-3-540-40765-2Published: 02 December 2003
Softcover ISBN: 978-3-642-62284-7Published: 12 October 2012
eBook ISBN: 978-3-642-18769-8Published: 12 March 2013
Edition Number: 3
Number of Pages: XVII, 543
Topics: Optical and Electronic Materials, Surfaces and Interfaces, Thin Films, Atomic/Molecular Structure and Spectra, Electronics and Microelectronics, Instrumentation